テスト加工の結果
X方向で最大 0.9μm
Y方向で最大 1.8μm
加工直径のバラツキは 1.2μm でした。
なんなく目標値達成。
いや、やっぱり温度だなぁー
今のソディック機には TH-COM (熱変位補正)が効いているのだけど
うーん、その恩恵なのかどうなのか。
実際の補正値が見れるかどうか聞いてみよう、
教えてくれるかはわからんけど(笑)